進(jìn)口臺(tái)式掃描電鏡以其小巧的體積、高分辨率和易于操作等特點(diǎn)，在材料科學(xué)、生物學(xué)、礦物學(xué)等眾多領(lǐng)域得到了廣泛應(yīng)用。 一、樣品制備
?。ㄒ唬K狀樣品
?表面處理
對于硬度較高的金屬、陶瓷等塊狀樣品，先要用砂紙從粗到細(xì)逐步打磨表面，以獲得平整光滑的表面。打磨后，可以用拋光膏對樣品表面進(jìn)行拋光處理，去除打磨痕跡，使表面粗糙度達(dá)到納米級(jí)水平。
對于軟質(zhì)塊狀樣品，需要采用特殊的打磨工具和試劑。
?導(dǎo)電性處理（針對非導(dǎo)電樣品）?
膠帶、塑料等非導(dǎo)電樣品在進(jìn)行SEM觀察前，通常需要進(jìn)行導(dǎo)電處理。金屬膜可以采用熱蒸發(fā)鍍膜或電子束蒸發(fā)鍍膜的方法制備。
另一種簡單的方法是在樣品表面噴金。通過噴金儀將金顆粒以一定的壓力和速度噴射到樣品表面，形成均勻的金涂層。噴金時(shí)要注意控制噴金的時(shí)間和距離，避免金粒過度堆積或漏噴的情況。
（二）粉末樣品
?分散性處理
將粉末樣品分散到合適的溶劑中，使用超聲處理的方法將聚集的粉末顆粒分散開。
為了防止粉末顆粒再次聚集，可以加入少量的分散劑。
?制樣方法
采用滴樣法時(shí)，將分散好的粉末溶液滴在硅片或玻片等平整的基底上，然后自然晾干或低溫烘干。在烘干過程中，要注意避免溶劑升華太快導(dǎo)致粉末顆粒重新團(tuán)聚。
也可以采用旋涂法。將粉末溶液滴在旋轉(zhuǎn)基底上，通過高速旋轉(zhuǎn)使溶液均勻地在基底上形成一層薄膜。旋涂的轉(zhuǎn)速和旋涂時(shí)間需要根據(jù)粉末的性質(zhì)和溶液的濃度進(jìn)行調(diào)整。
二、操作技巧
?。ㄒ唬╇娮邮O(shè)置
?工作距離
工作距離是指樣品到物鏡極靴之間的距離。合適的工作距離對于獲得高分辨率和高對比度的圖像非常重要。
?加速電壓和束流
加速電壓決定了電子束的能量。對于不同的樣品，需要選擇合適的加速電壓。對于導(dǎo)電性好的金屬和陶瓷樣品，較低的加速電壓可以獲得較好的圖像，因?yàn)榈碗妷合驴梢蕴岣叨坞娮拥漠a(chǎn)率，增強(qiáng)圖像的細(xì)節(jié)和對比度。對于絕緣樣品，可以適當(dāng)提高加速電壓，以減少電子在樣品表面的積累，避免圖像的暈輪效應(yīng)。
束流的大小也會(huì)影響圖像的質(zhì)量。較小的束流適用于觀察高分辨率的圖像，但可能會(huì)導(dǎo)致圖像的噪聲增加；較大的束流可以提高圖像的亮度，但可能會(huì)降低分辨率。在實(shí)際操作中，根據(jù)樣品的性質(zhì)和觀察的目的，將束流設(shè)置在合適范圍內(nèi)。
?。ǘ悠肥业恼{(diào)節(jié)
?樣品的定位
在將樣品放入樣品室后，先要對樣品進(jìn)行定位。利用樣品臺(tái)的高度調(diào)節(jié)、傾斜調(diào)節(jié)和旋轉(zhuǎn)調(diào)節(jié)功能，使樣品的關(guān)鍵部位位于電子束的掃描區(qū)域。
?樣品臺(tái)的校準(zhǔn)
在長時(shí)間使用或移動(dòng)進(jìn)口臺(tái)式掃描電鏡后，需要對樣品臺(tái)進(jìn)行校準(zhǔn)。校準(zhǔn)的內(nèi)容包括工作距離的準(zhǔn)確性、樣品臺(tái)的水平和垂直位置等。使用標(biāo)準(zhǔn)的樣品對樣品臺(tái)進(jìn)行校準(zhǔn)，以確保測量的準(zhǔn)確性和圖像的一一致性。
?。ㄈ﹫D像采集與處理
?放大倍數(shù)與視場
根據(jù)需要觀察的樣品特征，選擇合適的放大倍數(shù)。在開始觀察時(shí)，可以先從較低的放大倍數(shù)開始，以確定樣品的整體形態(tài)和結(jié)構(gòu)分布。
視場的大小也與放大倍數(shù)有關(guān)。在使用低放大倍數(shù)時(shí)，視場較大，可以觀察到較大范圍的樣品區(qū)域；而在高放大倍數(shù)下，視場較小，需要更精確地定位感興趣的區(qū)域進(jìn)行觀察。
?圖像處理軟件的使用
進(jìn)口臺(tái)式掃描電鏡通常配備圖像處理軟件。利用軟件可以對采集到的圖像進(jìn)行增強(qiáng)處理，還可以進(jìn)行邊緣檢測、顆粒分析、粗糙度測量等功能。
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